PRAM소자를 위한 GST의 결정화 및 HRTEM분석

Title
PRAM소자를 위한 GST의 결정화 및 HRTEM분석
Authors
김용태박유진이정용김성일염민수성만영
Issue Date
2005-09
Publisher
한국 반도체 및 디스플레이 장비 학회 2005년도
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/28385
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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