단일전구체를 이용한 SiCN 나노와이어의 성장

Title
단일전구체를 이용한 SiCN 나노와이어의 성장
Authors
노대호변동진김나리김재수양재웅이재훈
Issue Date
2004-10
Publisher
2004년 대한금속재료학회 추계 학술대회
Citation
, 76-76
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/28634
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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