RF 마이크로플라즈마 토치를 이용한 다이아몬드상 카본 합성

Title
RF 마이크로플라즈마 토치를 이용한 다이아몬드상 카본 합성
Authors
고현창송형근이화웅최재욱여영구
Keywords
RF 마이크로토치; 다이아몬드상 카본; 메탄
Issue Date
2006-10
Publisher
한국화학공학회 추계학술대회
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/30090
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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