RF 마이크로플라즈마를 이용한 카본의 증착 및 형태변화에 관한 고찰

Title
RF 마이크로플라즈마를 이용한 카본의 증착 및 형태변화에 관한 고찰
Authors
고현창여영구이화웅송형근
Keywords
RF 마이크로플라즈마; 카본; 증착
Issue Date
2006-04
Publisher
한국화학공학회 춘계학술대회
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/30094
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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