수직형 MEMS 프로브 팁의 신뢰성 설계 및 전기적 특성평가

Title
수직형 MEMS 프로브 팁의 신뢰성 설계 및 전기적 특성평가
Authors
이승훈추성일김진혁한동철문성욱
Issue Date
2007-03
Publisher
2007년도 한국신뢰성학회 및 대한기계학회 신뢰성부문 공동학술대회
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/31051
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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