블록 공중합체 박막을 이용한 금 나노점 및 실리콘 나노점의 형성

Title
블록 공중합체 박막을 이용한 금 나노점 및 실리콘 나노점의 형성
Authors
강길범김성일이창우김용태
Keywords
block copolymer; nanopattern; Si nanodot; gold nanodot
Issue Date
2007-06
Publisher
한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회
Citation
, 90-93
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/31329
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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