금속 Zn 타겟을 사용한 RF 마그네트론 리엑티브 스퍼터링 ZnO의 온도 및 산소분압에 따른 전기적 특성의 변화

Title
금속 Zn 타겟을 사용한 RF 마그네트론 리엑티브 스퍼터링 ZnO의 온도 및 산소분압에 따른 전기적 특성의 변화
Authors
김영석장삼석이승무박지훈변동진
Keywords
ZnO; Reactive Sputtering; metal Zn
Issue Date
2009-05
Publisher
한국재료학회
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/35331
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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