지능형 3차원 형상 세라믹 박막 소재 및 집적화 기술 개발

Title
지능형 3차원 형상 세라믹 박막 소재 및 집적화 기술 개발
Authors
장호원문희규김진상윤석진
Keywords
센서; 세라믹 박막; 지능형; 나노구조
Issue Date
2009-08
Publisher
세라미스트
Citation
VOL 12, NO 4, 18-25
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/35791
ISSN
1226-976X
Appears in Collections:
KIST Publication > ETC
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