양자점 레이저 소자의 n+/p+ GaAs기판 전극의 오믹 접합 향상 연구

Title
양자점 레이저 소자의 n+/p+ GaAs기판 전극의 오믹 접합 향상 연구
Authors
유지혁김경찬하승규한일기
Keywords
양자점 레이저; 오믹 접합; quantum dot laser; ohmic contact; TLM; electron beam evaporator; rapid thermal annealing; specific contact resistance; Auger electrons scanning
Issue Date
2009-08
Publisher
제 37 회 한국진공학회 하계 정기학술대회
Citation
, 117-117
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/37492
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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