Optical Properties of Au:TiO2 Nanocomposite Film Deposited by Sputtering under Oxygen Atmosphere

Title
Optical Properties of Au:TiO2 Nanocomposite Film Deposited by Sputtering under Oxygen Atmosphere
Authors
김윤지이인규김원목이경석
Keywords
Nanocomposite; Oxygen; Au; Au:TiO2 nanocomposite; surface plasmon resonance; Au oxide; thermal decomposition
Issue Date
2010-11
Publisher
한국전기전자재료학회
Citation
, 37-37
Abstract
유전체 기지상내에 분산된 금속 나노입자는 국소 표면 플라즈몬 공진형상에 따른 고유한 선형, 비선형 광학특성을 나타낸다. 유효매질이론에 따르면, 고 굴절을 기지상은 공진 광흡수 파장을 장파장 쪽으로 적색편이시키고 입자 주변에 걸리는 국부전기장의 크기를 증대시키는 효과가 있다. 전이금속산화물인 TiO2는 높은 굴절율로 광학적 중요성이 높은 재료지만, 산소 결핍시 광흡수가 발생하고 투명도가 감소하는 경향이 있다. 본 연구에서는 TiO2 기지상 자체의 광 흡수도를 낮추고 Au 입자의 표면 플라즈몬 공진 특성을 향상시키기 위해 스퍼터링 증착시 산소 분압이 Au 입자의 성장 및 복합체 박막의 광학적 특성에 미치는 영향을 평가하고자 하였다.
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/38685
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KIST Publication > Conference Paper
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