반도체식 가스 센서의 개발 동향

Title
반도체식 가스 센서의 개발 동향
Authors
장호원
Keywords
반도체식 가스 센서; 나노재료; 센서 어레이; Graphene; 나노선; 상온 동작
Issue Date
2011-01
Publisher
전기전자재료
Citation
VOL 24, NO 1, 34-42
Abstract
나노입자, 나노선, 나노막대, 나노튜브, 나노띠, 나 노면 등과 같은 산화물 나노재료와 탄소 나노튜브 그래핀과 같은 저차원 탄소 나노재료를 이용하여 고 품질의 반도체식 나노 가스 센서의 연구 개발이 활 발히 진행되고 있다. 이러한 나노 가스 센서의 경우 기존의 박막 센서에 비해 비표면적이 넓어 감응도가 크고 나노재료 자체의 높은 결정성 때문에 신뢰성이 높은 센서 특성을 얻을 수 있다는 장점이 있다. 또한 금속 입자 또는 산화물 입자를 촉매로 이용하여 나 노 가스 센서의 특성을 향상시키는 연구 또한 큰 관 심을 받고 있으며, 개별 나노센서를 결합한 센서 어 레이를 이용하여 선택적 가스 감지가 가능한 전자코 개발이 이루어지고 있다. 특히 최근의 에너지 절약 및 고효율화 기조에 부합하여 상온 동작 가능한 나 노 센서를 개발하는 것은 매우 중요한 과제이다. 결 론적으로 여전히 저차원 나노 재료를 이용한 가스 센서 개발은 기술 개발의 초기 단계라고 할 수 있다. 고품질의 나노 센서 즉 신뢰성이 높고 선택도가 뛰 어나며 상온에서 동작 가능한 나노 센서를 저비용, 고수율의 대량생산공정과 집적화하는 기술이야 말 로 미래의 유비쿼터스 센서 네트워크 사회 실현에 있어 큰 도전 과제라 할 수 있다.
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/39411
ISSN
1226-7937
Appears in Collections:
KIST Publication > ETC
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