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dc.contributor.author윤정현-
dc.contributor.author이지혜-
dc.contributor.author이연희-
dc.date.accessioned2015-12-03T00:53:32Z-
dc.date.available2015-12-03T00:53:32Z-
dc.date.issued201210-
dc.identifier.other38397-
dc.identifier.urihttp://pubs.kist.re.kr/handle/201004/43774-
dc.description.abstract간단한 제작공정과 경제적인 이유로 인해 차세대 태양전지로 주목받는 박막형 태양전지중에 Cu(InGs)Se2 (CIGS)는 높은 광전효율과 비교적 적은 생산단가의 장점 때문에 특히 관심이 집중되고 있다. 기존의 제조공정은 태양전지의 핵심 기술을 보유하고 있는 선진국에 의존하는 수준이어서 CIGS박막의 조성비와 깊이에 따른 분포분석을 정확히 파악하는 분석기술은 앞으로의 태양전지 산업발전에 매우 중요한 요소이다.[1,2] CIGS박막 분석에 이용되는 표면 분석법중 Auger Electron Spectroscopy(AES)는 조성비와 깊이방향의 분석이 가능하여 불확도를 줄이고 향상된 정량화를 통하여 CIGS의 정량분석에 적극 활용할 수 있는 장점이 있다. 본 실험에서는 조성비를 알고 있는 균질한 CIGS박막을 표준시료로 사용하여 AES 깊이 분석을 실시하였으며 이를 통해 얻어진 RSF값을 이용하여 각기 다른 CIGS시료의 정량화를 시도하였다. 시료대를 회전하면서 깊이분포도를 측정하여 시료대회전이 정확한 정량분석 결과에 어느 정도 영향을 미치는지 확인하였으며 AES를 통하여 얻은 조성비와 ICP-AES, EPMA등 다른 분석장비 측정결과를 비교하였다.-
dc.publisher표면분석 심포지움-
dc.subjectAES-
dc.subjectCIGS-
dc.subjectEPMA-
dc.subjectICP-AES-
dc.subject정량-
dc.subject태양전지-
dc.titleAuger Electron Spectroscopy를 이용한 Cu(InGa)Se2 박막의 정량화-
dc.typeConference Paper-
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KIST Publication > Conference Paper
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