EDS-EBSD 조합 분석을 이용한 강의 산화물층 분석

Title
EDS-EBSD 조합 분석을 이용한 강의 산화물층 분석
Authors
김동익김주헌이경우Gert Nolze
Keywords
EBSD; EDS; 철강; 산화; 분석
Issue Date
2012-05
Publisher
한국현미경학회
Abstract
EBSD를 이용한 상분석은 미리 입력된 상들의 결정구조를 이용한 Kikuchi map 과 EBSD를 이용하여 측정된 실제 회절 도형과의 비교를 통해 가장 작은 차이를 보이는 구조를 결정구조로 결정하는 비교법을 이용한다. 최근의 EBSD 프로그램들 의 경우 상분석의 정확도를 높이기 위해 EBSD 회절도형의 밴드 폭 등 추가적인 정보들을 이용하려고 하는 노력들이 적용되고 있으나, 여전히 기본 상분석 기구는 회절도형 밴드들 간의 교차각을 이용하고 있다. 따라서 EBSD를 이용한 같은 결정 구조를 갖는 상들간의 분석은 상당 부분 큰 에러값을 나타내고 있으며, 이러한 에 러값을 줄이기 위해 밴드의 폭 등의 기타 정보를 이용하기 위해서는 회절 도형의 분해능을 높여 측정 시간의 손해를 감수해야 한다. 이에 최근에는 EDS를 이용한 성분 정보를 적용하여 이러한 밴드 교차각을 이용한 분석의 부정확성을 개선하려는 노력들이 적용되고 있는데, 본 연구에서는 Cu-Nb 첨가 오스테나이트계 스테인리스 강의 고온 산화물의 상분석에 있어 이러한 EDS-EBSD 조합 분석의 효과에 대해 소개하고자 한다.
URI
http://pubs.kist.re.kr/handle/201004/44077
Appears in Collections:
KIST Publication > Conference Paper
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