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Issue Date | Title | Author(s) |
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2013-10-22 | 극자외선 포토 리소그래피용 마스크 결함 분석을 위한 결맞음 회절 이미징 촬영 카메라 자동 정렬 시스템 | 박민철; 전영민; 우덕하; 조정근; 조성진; 이동수; 한국과학기술연구원 |
2013-11-11 | 다중 센서 자동 검지 시스템 | 전영민; 장지웅; 변영태; 우덕하; 박민철; 김선호; 김신근; 김재헌; 이택진; 이석; 한국과학기술연구원 |
2013-06-17 | 마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 및 그 방법 | 전영민; 장지웅; 박민철; 김선호; 이택진; 이석; 변영태; 김재헌; 우덕하; 한국과학기술연구원 |
2013-05-10 | 측면 방출형 선형증발원, 그 제작 방법 및 선형증발기 | 우덕하; 김선호; 이석; 변영태; 정용우; 김재헌; 박민철; 김신근; 전영민; 한국과학기술연구원 |
2013-05-02 | 마스크 패턴 검사용 3차원 영상 획득 시스템 및 그 방법 | 전영민; 황정민; 장지웅; 박민철; 이택진; 김선호; 이석; 김재헌; 우덕하; 한국과학기술연구원 |