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20090806테라헤르츠파 생성기 및 이를 이용한 고출력 테라헤르츠파 생성방법김선호; 김재헌; 변영태; 우덕하; 이석; 전영민
20100526바이오 물질을 검출하는 빔 스캐닝 시스템김선호; 김신근; 김재헌; 변영태; 우덕하; 이석; 장지웅; 전영민
20091124발열부 일체형 진공 박막 증착용 분자빔 증발원, 그 제작 방법 및 증발기김선호; 김신근; 김재헌; 변영태; 우덕하; 이석; 전영민
20091130전계 효과 트랜지스터 센서 어레이 및 그 제조 방법김경헌; 김선호; 김수현; 김신근; 김재헌; 변영태; 이석
20090923포토리소그래피 공정만을 이용한 나노 물질의 선택적 조립 방법 및 이를 이용한 나노구조 다중채널 ＦＥＴ 소자 제조 방법김경헌; 김선호; 김수현; 김신근; 변영태; 이석; 전영민
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