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2015-09-01펄스 레이저 장치전영민; 안준모; 김재헌; 김선호; 우덕하; 이택진; 박민철; 변영태; 이석; 한국과학기술연구원
2015-11-17극자외선 분광기 캘리브레이션 장치 및 그 방법전영민; 김용수; 안준모; 서민아; 김재헌; 우덕하; 변영태; 이택진; 김선호; 이석; 박민철; 한국과학기술연구원
2013-11-11다중 센서 자동 검지 시스템전영민; 장지웅; 변영태; 우덕하; 박민철; 김선호; 김신근; 김재헌; 이택진; 이석; 한국과학기술연구원
2014-01-03극자외선 빔을 생성하기 위한 모듈전영민; 이대영; 박민철; 김선호; 이석; 김재헌; 이택진; 김철기; 우덕하; 변영태; 한국과학기술연구원
2015-01-22펄스 레이저 장치전영민; 안준모; 김재헌; 김선호; 우덕하; 이택진; 박민철; 변영태; 이석; 한국과학기술연구원
2016-11-29단일 펄스 레이저 장치전영민; 안준모; 이석; 김재헌; 박민철; 김철기; 이택진; 우덕하; 서민아; 한국과학기술연구원
2017-11-21단일 펄스 레이저 장치전영민; 안준모; 이석; 김재헌; 박민철; 김철기; 이택진; 우덕하; 서민아; 한국과학기술연구원
2013-06-17마스크 패턴 검사용 광선 자동차단 영상 획득 시스템 및 그 방법전영민; 장지웅; 박민철; 김선호; 이택진; 이석; 변영태; 김재헌; 우덕하; 한국과학기술연구원
2015-11-17극자외선 분광기를 캘리브레이션하기 위한 장치 및 방법전영민; 김용수; 서민아; 조운조; 김재헌; 우덕하; 박민철; 이택진; 김선호; 이석; 전명석; 한국과학기술연구원
2015-03-03극자외선 분광기 캘리브레이션 장치 및 그 방법전영민; 김용수; 안준모; 서민아; 김재헌; 우덕하; 변영태; 이택진; 김선호; 이석; 박민철; 한국과학기술연구원

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