기판상에 금속박막을 증착하는 방법

Title
기판상에 금속박막을 증착하는 방법
Authors
김경훈김성민문선우장진혁한승희
Issue Date
2012-09-21
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
기판상에 금속박막을 증착하는 방법이 개시된다. 본 발명에 의한 기판상에 금속박막을 증착하는 방법은 진공챔버 내부에 위치한 기판 장착대에 기판을 장착하는 단계, 진공펌프를 이용하여 상기 진공챔버 내부를 진공시키는 단계, 상기 진공챔버 내에 사용할 가스를 인입하여 내부의 압력을 일정한 압력으로 유지하는 단계, 및 상기 진공챔버에 장착된 마그네트론 스퍼터링 증착원에 양극성 펄스직류 전원장치에서 발생된 양극성 펄스직류를 인가하는 단계를 포함한다.
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2012
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