비정질 반도체 박막의 결정화 장치 및 그 방법

Title
비정질 반도체 박막의 결정화 장치 및 그 방법
Authors
김은겸문선우박원웅전준홍최진영한승희
Issue Date
2012-05-08
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
비정질상 반도체 박막의 결정화 장치 및 그 방법이 개시된다. 본 발명에 의한 비정질상 반도체 박막의 결정화 장치는 기판이 장착되는 기판 장착대가 배치되며 내부가 진공상태로 유지되는 진공 챔버, 상기 진공 챔버와 연결되며 결정화 촉매 물질의 이온 주입을 위한 결정화 촉매물질 증착원, 상기 결정화 촉매물질 증착원과 이격되어 배치되며 상기 기판에 반도체 박막을 증착하기 위한 반도체 박막 증착원, 및 유도결합 플라즈마 발생장치를 포함한다.
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2012
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