이온주입 및 박막 증착 장치 및 이를 이용한 이온주입 및 박막 증착 방법

Title
이온주입 및 박막 증착 장치 및 이를 이용한 이온주입 및 박막 증착 방법
Authors
김은겸문선우박원웅한승희
Issue Date
2012-05-17
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 이온주입 및 박막 증착에 관한 것으로, 진공조 내부에 스퍼터링 타겟을 장착한 마그네트론 증착원과 시료를 장착할 수 있는 전도성 시료 장착대가 장착되어 진공조 내부에서 외부 환경에의 노출 없이, 소재 위에 이온주입공정과 박막 증착 공정을 동시에, 또는 순차적으로 수행할 수 있는 플라즈마 이온주입 및 박막 증착장치 및 방법이 제공된다.
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KIST Patent > 2012
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