기판건조장치 및 기판건조방법

Title
기판건조장치 및 기판건조방법
Authors
구교욱김우영김재훈박종민배정용송길훈최진영
Issue Date
2011-12-07
Publisher
세메스 주식회사; 한국과학기술연구원
Abstract
본 명세서는 기판건조장치 및 기판건조방법, 보다 상세하게는 초임계건조공정을 수행하는 장치 및 방법을 개시한다. 본 발명에 따른 기판건조방법의 일 양상은, 챔버로 회로패턴에 유기용매가 잔류하는 기판을 반입하는 단계; 상기 챔버로 유기용매를 공급하여 상기 기판이 상기 유기용매 내에 위치되는 단계; 상기 챔버로 초임계유체를 공급하여 상기 챔버 내부가 상기 초임계유체의 영역과 상기 초임계유체에 의해 팽창된 유기용매의 영역으로 분리되는 단계; 상기 초임계유체가 상기 유기용매를 치환하는 단계; 및 상기 챔버의 내부압력을 낮추어 상기 회로패턴의 손상을 방지하며 상기 기판을 회수하는 단계; 를 포함한다.
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KIST Patent > 2011
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