고감도 투명 가스 센서 및 그 제조방법

Title
고감도 투명 가스 센서 및 그 제조방법
Authors
강종윤김진상문희규윤석진장호원최지원
Issue Date
2011-12-12
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 고감도 투명 가스 센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 투명 기판; 상기 투명 기판 상에 형성된 투명 전극; 및 상기 투명 전극 상에 형성된 투명 가스 감지층을 포함하고, 상기 투명 가스 감지층은 투명 전극 상에 형성된 나노 기둥과, 상기 나노 기둥의 사이에 형성된 가스 확산 공극을 포함하는 나노주상구조를 가지는 투명 가스 센서를 제공한다. 또한, 본 발명은 투명 기판 상에 투명 전극을 형성하는 제1단계; 상기 투명 전극 상에 투명 가스 감지층을 형성하는 제2단계를 포함하고, 상기 제2단계에서는 투명 가스 감지층을 투명 전극 상에 형성된 나노 기둥과, 상기 나노 기둥의 사이에 형성된 가스 확산 공극을 포함하는 나노주상구조를 가지도록 형성하는 투명 가스 센서의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따르면, 투명성을 확보하여 투명 전자기기나 유리창 등의 투명 제품에 설치가 가능하고, 감도가 뛰어나 외부에서 어떠한 열을 가하지 않을 경우에도 우수한 가스 감응도를 갖는다. 그리고 소비 전력이 낮아 휴대폰과 같은 모바일 기기에도 장착이 가능하다.
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KIST Patent > 2011
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