생체용 재료의 표면개질 장치 및 표면개질 방법

Title
생체용 재료의 표면개질 장치 및 표면개질 방법
Authors
문선우박원웅전준홍최진영한승희
Issue Date
2011-10-12
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
생체재료로 이용되는 임플란트나 인공관절 등의 인공대체물과 그 시술에 쓰이는 여러 부속품들의 골형성 또는 골유착 성능을 향상시키기 위한 생체용 재료의 표면개질 장치 및 표면개질 방법을 제공한다. 본 발명의 실시예에 따른 생체용 재료의 표면개질 장치는 내부가 진공 상태를 유지하는 진공조, 진공조에 결합되어 생체활성 물질의 플라즈마 이온을 발생하는 마그네트론 증착원, 진공조 내에서 마그네트론 증착원에 대향하는 위치에 설치되어 시료가 장착되는 시료장착대, 마그네트론 증착원에 펄스직류 전력을 공급하여, 마그네트론 증착원으로부터 스퍼터링되는 생체활성 물질의 플라즈마 이온들을 발생시키는 펄스직류 전원부, 및 시료장착대에 음(-)의 고전압 펄스를 공급하여, 마그네트론 증착원으로부터 형성되는 생체활성 물질의 플라즈마 이온들을 이온주입시키는 고전압 펄스 전원부를 포함한다.
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KIST Patent > 2011
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