선형 증발원이 구비된 증착 장치

Title
선형 증발원이 구비된 증착 장치
Authors
박동희신길용양정도이재경정상헌조민철최원국
Issue Date
2011-10-19
Publisher
(주)와이에스썸텍; 한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 선형 증발원이 구비된 증착 장치에 관한 것으로서, 소스가 저장된 소스 저장부, 소스 저장부에 저장된 소스를 공급하는 소스 공급부 및 소스 공급부에서 공급되는 소스를 증기화시켜, 증기화소스로 변환하여 기판에 증착시키는 선형 증발원을 포함하되, 선형 증발원은 원기둥 구조로 이루어져, 길이방향을 따라 골이 형성되고, 골의 양측 내주면 상단이 단차져서 형성된 슬라이딩 홈을 구비한 전도성 앰폴, 다수의 기공이 형성되어 있고, 길이방향 양측변이 슬라이딩 홈에 삽입되는 멤브레인, 원통형 구조로 이루어져, 내주면과 전도성 앰폴의 외주면이 이격되게 전도성 앰폴을 수용한 비전도성 쉴드, 비전도성 쉴드의 길이방향을 따라 내주면에서 외주면으로 돌출되어 형성된 핫립 및 비전도성 쉴드 외주면에 권취된 유도코일을 포함하여, 핫립을 통해 분사되는 증기화물질이 기판에 선형적이고 균일하게 증착될 수 있도록 한다.
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KIST Patent > 2011
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