SF6 분리회수장치 및 방법

Title
SF6 분리회수장치 및 방법
Authors
김한별우주만이민우이상협이중기이현정
Issue Date
2011-04-15
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 분리막 모듈을 통한 분리, 회수 공정을 적용함에 앞서, SF6 가스를 농축시켜 SF6의 회수율을 극대화할 수 있는 SF6 분리회수장치 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 SF6 분리회수장치는 SF6를 포함하는 폐가스에 함유되어 있는 이산화황(SO2) 및 수분을 제거하는 기체 전처리장치와, 상기 폐가스 내에 포함되어 있는 SF6를 선택적으로 흡착, 탈착하여 제 1 SF6 농축장치와, 상기 제 1 SF6 농축장치를 통해 배출되는 폐가스를 제 1 회수기체와 제 1 기타기체로 분리하는 제 1 분리막 모듈과, 상기 제 1 회수기체를 대상으로 제 2 회수기체와 제 2 기타기체로 분리하는 제 2 분리막 모듈과, 상기 제 1 분리막 모듈에 의해 분리된 제 1 기타기체를 저장하는 기타기체 저장탱크와, 상기 기타기체 저장탱크로부터 제 1 기타기체를 공급받아 SF6와 기타기체로 분리하는 제 3 분리막 모듈을 포함하여 이루어지며, 상기 제 1 회수기체, 제 2 회수기체는 각각 제 1 기타기체, 제 2 기타기체에 대비하여 SF6가 고농도로 포함된 기체인 것을 특징으로 한다.
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KIST Patent > 2011
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