리튬이차전지의 음극 및 그 형성방법

Title
리튬이차전지의 음극 및 그 형성방법
Authors
문명운이세희정민석주영창최인석
Issue Date
2011-02-16
Publisher
한국과학기술연구원; 서울대학교산학협력단
Abstract
본 발명의 일측면에 의하면, 기판 상에 실리콘층을 형성하는 단계, 상기 실리콘층 표면으로 전처리 가스를 공급하는 단계, 상기 실리콘층을 식각하여 서로 이격되어 있는 복수개의 실리콘 로드를 형성하는 단계, 전도성 용액으로 상기 실리콘 로드 간의 이격공간을 매립하는 단계 및 상기 전도성 용액을 건조시켜 상기 이격공간에 집전체를 형성하는 단계를 포함하는 리튬이차전지의 음극 형성방법이 제공된다. 본 발명의 다른 측면에 의하면, 기판, 상기 기판의 일면에 서로 이격되어 형성된 복수의 실리콘 로드 및 상기 실리콘 로드 간의 이격공간를 매립하는 집전체를 포함하는 리튬이차전지의 음극이 제공된다.
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KIST Patent > 2011
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