타겟 회전 방식 온벽 펄스 레이저 증착을 이용한 나노 구조체 합성 장치 및 방법

Title
타겟 회전 방식 온벽 펄스 레이저 증착을 이용한 나노 구조체 합성 장치 및 방법
Authors
김경원이상렬
Issue Date
2011-01-10
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
나노 구조체 합성 장치는, 기판 및 타겟 물질이 위치하는 챔버; 상기 챔버 내부에 위치하며, 상기 타겟 물질을 지지하고 회전하는 지지부; 상기 챔버 외부에 위치하며 상기 챔버 내의 온도가 600℃ 이상이 되도록 상기 챔버를 가열하는 가열기; 및 상기 타겟 물질에 레이저를 조사하여 상기 타겟 물질을 분해함으로써, 분해된 상기 타겟 물질로부터 상기 기판상에 나노 구조체를 형성하는 레이저 발생기를 포함할 수 있다.
URI
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2011
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