환형 실록산 화합물과 불소계 실란 단량체를 혼성화한 재료를 이용한 저유전막 및 이의 제조방법

Title
환형 실록산 화합물과 불소계 실란 단량체를 혼성화한 재료를 이용한 저유전막 및 이의 제조방법
Authors
곽순종구종민박상희백경열오성연이성수이희승최승석홍순만황승상
Issue Date
2010-11-30
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 실세스퀴옥산 중합체 매트릭스를 전구체로 하여 제조된 저유전막으로서, 상기 실세스퀴옥산 중합체 매트릭스는 다반응성 환형 실록산, 불소 실란 단량체 및 알콕시실란을 중합하여 제조된 실세스퀴옥산 졸(sol)인 것을 특징으로 하는 저유전막 및 이의 제조방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 저유전막은 ~500℃의 경화온도에서도 열에 의해 분해되지 않고 안정된 도막 상태를 유지하며, 도막 표면의 굴곡 정도가 작아 매우 균일한 표면 특성을 나타낼 뿐 아니라, 500nm 이상의 두께에서도 균열 현상없이 매끄럽게 코팅될 수 있어 코팅성이 매우 우수하다. 또한, 본 발명에 따른 저유전막은 낮은 흡습률을 가지면서도, 높은 표면 모듈러스 및 경도를 가져 우수한 기계적 물성을 나타낼 뿐 아니라, 우수한 저유전 특성을 발휘할 수 있다.
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KIST Patent > 2010
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