적외선 램프를 구비한 물질층 결정화 장치와 이를 이용한 물질층의 결정화 방법 및 이 방법을 이용한 전자소자의 제조방법

Title
적외선 램프를 구비한 물질층 결정화 장치와 이를 이용한 물질층의 결정화 방법 및 이 방법을 이용한 전자소자의 제조방법
Authors
신경호이경일장준연
Issue Date
2010-10-27
Publisher
한국과학기술연구원; 삼성전자주식회사
Abstract
적외선 램프를 구비한 물질층 결정화 장치와 이를 이용한 물질층의 결정화 방법 및 이 방법을 이용한 전자소자의 제조방법에 관해 개시되어 있다. 본 발명의 일 실시예에 의한 물질층의 결정화 장치는 기판 홀더를 구비하는 쿼츠 튜브, 상기 기판 홀더에 로딩되는 대상에 조사하기 위한 적외선이 방출되는 적외선 방출 수단 및 상기 쿼츠 튜브와 상기 적외선 방출 수단을 포함하는 챔버를 포함한다. 여기서,상기 적외선 방출 수단은 적외선 램프일 수 있다. 상기 챔버를 사이에 두고 마주하는 자석을 더 포함할 수 있다.
URI
Go to Link
Appears in Collections:
KIST Patent > 2010
Files in This Item:
There are no files associated with this item.
Export
RIS (EndNote)
XLS (Excel)
XML


qrcode

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE