고감도 캔틸레버 센서

Title
고감도 캔틸레버 센서
Authors
강지윤김태송이민혁황교선
Issue Date
2010-11-10
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 하부에서 상부로 갈수록 폭이 감소하는 형상으로 이루어지는 고감도 캔틸레버 센서 및 상기 캔틸레버 센서를 포함하는 캔틸레버 기반 미세물질 검출 장치를 제공한다. 본 발명에 의한 형상으로 이루어지는 캔틸레버 센서는 타겟 물질과의 반응면적과 타겟 물질의 질량 변화량은 변화시키지 않고, 공진주파수 변화량(dfr)/공진주파수(fr) 값을 증가시켜서 센서의 민감도를 향상시키는 효과가 있다.
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KIST Patent > 2010
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