갈륨이 도핑된 나노선 가스센서 및 그 제조방법

Title
갈륨이 도핑된 나노선 가스센서 및 그 제조방법
Authors
김경원박동훈이동윤이상렬
Issue Date
2010-08-25
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
나노선 가스센서는, 기판; 상기 기판 상의 절연막; 상기 절연막 상에 위치하고 갈륨(Ga)이 도핑된 나노선; 및 상기 절연막 상에 서로 이격하여 위치하며, 상기 나노선과 전기적으로 연결된 복수 개의 전극을 포함한다. 나노선 가스센서 제조방법은, 갈륨(Ga)이 도핑된 나노선을 합성하는 단계; 상기 나노선을 용액에 혼합시키는 단계; 기판 상에 절연막을 형성하는 단계; 상기 나노선이 혼합된 용액을 상기 절연막 상에 위치시키는 단계; 및 상기 나노선과 전기적으로 연결되며 서로 이격된 복수의 전극을 패터닝하여 형성하는 단계를 포함한다.
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KIST Patent > 2010
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