웨이퍼 탑재 유지 제어장치

Title
웨이퍼 탑재 유지 제어장치
Authors
김성일김영환김용태김춘근
Issue Date
2010-07-30
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
웨이퍼가 웨이퍼 캐리어에 탑재된 상태에서 웨이퍼 이탈 방지 구동부를 자동으로 구동하여 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어로부터 미끌어지거나 이탈되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 탑재 유지 제어장치를 제공한다. 웨이퍼 탑재 유지 제어장치는 웨이퍼가 탑재되는 웨이퍼 캐리어, 웨이퍼 캐리어에 결합되어 웨이퍼의 탑재 유무를 감지하는 웨이퍼 검출부, 웨이퍼 캐리어의 일측에 결합되며, 웨이퍼가 웨이퍼 캐리어로부터 이탈됨을 방지하는 웨이퍼 이탈 방지 구동부, 및 웨이퍼 검출부로부터 출력되는 웨이퍼 탑재 유무 검출신호에 따라 웨이퍼 이탈 방지 구동부로 구동 제어신호를 공급하여 웨이퍼 탑재상태를 유지시키는 제어부를 포함한다.
URI
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2010
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