금속촉매 나노입자를 포함하는 가스센서 및 이의 제조방법

Title
금속촉매 나노입자를 포함하는 가스센서 및 이의 제조방법
Authors
김수현김일두윤석진홍재민
Issue Date
2010-08-13
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 금속촉매 나노입자를 포함하는 가스센서 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 센서 전극이 구비된 기판; 상기 기판 상에 형성되며 속이 빈 미세 엠보싱 구조를 갖는 다공성의 금속산화물 박막; 및 상기 다공성의 금속산화물 박막의 겉면과 안쪽면에 균일하게 분포된 금속촉매 나노입자를 포함하는 본 발명의 가스센서는, 표면적이 크고 외부가스가 쉽게 침투할 수 있으며 기판과의 계면특성이 최소화되고 내외면에 금속촉매 나노입자가 분포되어 있어서 고감도 및 우수한 가스 선택성을 나타낸다.
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KIST Patent > 2010
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