비정질 산화아연막 구조를 이용한 열 방사 방지막 및 그 제조방법

Title
비정질 산화아연막 구조를 이용한 열 방사 방지막 및 그 제조방법
Authors
박동훈이상렬
Issue Date
2010-07-02
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
열 방사 방지막은, 기판; 상기 기판 상의 제1 비정질 산화아연층; 상기 제1 비정질 산화아연층 상의 단열층; 및 상기 단열층 상의 제2 비정질 산화아연층을 포함하여 구성된다. 열 방사 방지막 제조방법은, 기판 상에 제1 비정질 산화아연층을 형성하는 단계; 상기 제1 비정질 산화아연층 상에 단열층을 형성하는 단계; 및 상기 단열층 상에 제2 비정질 산화아연층을 형성하는 단계를 포함하여 구성된다.
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KIST Patent > 2010
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