치밀성 박막과 이를 이용한 연료전지 및 그 제조방법

Title
치밀성 박막과 이를 이용한 연료전지 및 그 제조방법
Authors
권창우김기범손지원이종호이해원
Issue Date
2010-07-16
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 치밀성 박막과 이를 이용한 연료전지 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명은 (1) 다공성 표면에 제1 박막을 형성하는 단계 및 (2) 제1 박막의 표면에 제1 박막과 동종의 물질로 제2 박막을 형성하여 제1 박막의 핀 홀을 제거하는 단계를 포함하거나, (1') 다공성 표면에 제1 박막을 형성하는 단계, (2') 제1 박막의 표면에 제1 박막과 이종의 물질로 제2 박막을 형성하여 제1 박막의 핀 홀을 제거하는 단계 및 (3') 제2 박막의 표면을 식각하는 단계를 포함하는 치밀성 박막과, 이를 이용하는 초소형 연료전지의 제조방법에 관한 것이고, 다공성 소재, 다공성 소재의 표면에 형성되고, 핀 홀을 갖는 제1 박막 및 제1 박막과 동종의 물질을 포함하고, 핀 홀을 채우며 제1 박막의 표면에 형성되는 제2 박막을 포함하거나, 다공성 소재, 다공성 소재의 표면에 형성되고, 핀 홀을 갖는 제1 박막, 제1 박막과 이종의 물질을 포함하고, 핀 홀을 채우는 물질 및 제1 박막과 동종의 물질을 포함하고, 제1 박막의 표면에 형성되는 제2 박막을 포함하는 치밀성 박막과, 이를 이용하는 초소형 연료전지에 관한 것이다.
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KIST Patent > 2010
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