측면 방출형 선형증발원, 그 제작 방법 및 선형증발기

Title
측면 방출형 선형증발원, 그 제작 방법 및 선형증발기
Authors
김선호김신근김재헌박민철변영태우덕하이석전영민정용우
Issue Date
2010-06-10
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 측면 방출형 선형증발원, 그 제작방법 및 선형증발기에 관한 것이다. 진공속에서 도가니를 가열하여, 도가니에서 방출되는 재료를 기판에 증착하는 방법을 사용하는 증발시스템에서, 도가니와 발열부로 구성되고 증발원의 측면에 형성된 방출구를 갖는 선형증발원, 그 선형증발원의 제작방법 및 선형증발기에 관한 것이다.본 발명에서는 증발장치용 PBN 방출부와, 상기 방출부의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부와, 상기 방출부의 측면에 형성된 다수개의 방출구를 포함하는 선형증발원, 그 제작 방법 및 선형증발기가 제시된다.
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KIST Patent > 2010
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