혼합 인듐주석 산화물 졸 및 혼합 인듐주석 산화물 막의 제조방법

Title
혼합 인듐주석 산화물 졸 및 혼합 인듐주석 산화물 막의 제조방법
Authors
김창삼윤동훈임경란
Issue Date
2010-05-03
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 혼합 인듐주석 산화물 졸의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 (a) 프로피온산과 부탄올 혼합용매에 인듐 화합물 및 염화주석 화합물을 분산시키고 가열하여 제1 인듐주석 산화물 졸을 제조하는 단계, (b) 디메틸포름아미드와 부탄올 혼합용매에 인듐 화합물 및 염화주석 화합물을 분산시키고 질산을 첨가한 후, 가열 및 급속 냉각하여 제2 인듐주석 산화물 졸을 제조하는 단계 및 (c) 상기 제2 인듐주석 산화물 졸에 상기 제1 인듐주석 산화물 졸을 첨가하면서 교반하여 혼합 인듐주석 산화물 졸을 생성시키는 단계를 포함하는 혼합 인듐주석 산화물 졸의 제조방법에 관한 것이다.또한, 본 발명은 결정성 인듐주석 산화물 막의 제조방법으로서 본 발명의 혼합 인듐주석 산화물 졸의 제조방법에 의하여 제조된 혼합 인듐주석 산화물 졸을 기판 또는 분말에 코팅하고 열처리하는 단계를 포함하는 결정성 인듐주석 산화물 막의 제조방법에 관한 것이다.
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KIST Patent > 2010
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