고농축 함불소가스 열분해를 위한 고효율 열플라즈마 반응기

Title
고농축 함불소가스 열분해를 위한 고효율 열플라즈마 반응기
Authors
송한주여인수우주만이상득이중기이화영장원영조규영조병원조욱재최수석
Issue Date
2010-05-07
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 고농축함불소가스 열분해를 위한 고효율 열플라즈마 반응기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 플라즈마 처리 공정중 고농축 함불소가스를 용이하게 열분해시킬 수 있도록 최적의 재질 및 설계 구조로 만들어진 고농축함불소가스 열분해를 위한 고효율 열플라즈마 반응기에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명은 내부반응관과 외부반응관이 서로간에 반응기체 흐름통로를 위한 일정 간격을 형성하며 중첩된 이중관 반응기; 상기 외부반응관의 외경부에 일정 간격의 폐기체 흐름통로를 형성하며 배열되는 것으로서, 반응기체 흐름통로 및 폐기체 흐름통로에 각각 반응기체 및 폐기체를 공급하기 위한 반응기체 공급구와 폐기체 공급구가 하단부에 형성된 제1외부냉각관; 상기 제1외부냉각관의 외경부에 일정 간격의 냉각수 흐름통로를 형성하며 배열되는 것으로서, 상단 및 하단부에 각각 냉각수 흐름통로와 연통되는 냉각수 공급구 및 냉각수 배출구가 형성된 제2외부냉각관; 상기 내부 및 외부반응관의 하단이 체결되는 동시에 상기 제1외부냉각관 및 제2외부냉각관의 하단에 일체로 형성된 하부플랜지와 결합되는 배출블럭; 을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 고농축 함불소가스 열분해를 위한 고효율 열플라즈마 반응기를 제공한다.
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KIST Patent > 2010
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