측면 방출형 분자빔 증발원, 그 제작 방법 및 증발기

Title
측면 방출형 분자빔 증발원, 그 제작 방법 및 증발기
Authors
김선호김신근김재헌박민철변영태우덕하이석전영민정용우
Issue Date
2010-04-07
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 측면 방출형 증발원, 그 제작방법 및 증발기에 관한 것이다. 진공속에서 도가니를 가열하여, 도가니에서 방출되는 재료를 기판에 증착하는 방법을 사용하는 증발시스템에서, 도가니와 발열부로 구성되고 도가니의 측면에 형성된 방출구를 갖는 증발원, 그 증발원의 제작방법 및 증발기에 관한 것이다.본 발명에서는 증발장치용 PBN 도가니와, 상기 도가니의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부와, 상기 도가니의 측면에 형성된 방출구와, 상기 도가니의 상부를 덮는 PBN 뚜껑과, 상기 뚜껑의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부를 포함하는 증발원, 그 제작 방법 및 증발기가 제시된다.
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KIST Patent > 2010
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