대면적 고신뢰성 3차원구조 산화물 박막 가스 센서 및 그의 제조방법

Title
대면적 고신뢰성 3차원구조 산화물 박막 가스 센서 및 그의 제조방법
Authors
강종윤김진상문희규윤석진장호원최지원
Issue Date
2010-02-26
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 실리콘 반도체 소자 제조 공정에 적용이 가능한 고신뢰성의 대면적 고감도 세라믹 가스 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 산화물 박막 가스 센서는 그 동작 원리가 간편하고 동작전압이 낮으며 부피가 작은 장점 때문에 여러 가지 다른 방식의 가스 센서를 대체할 수 있을 것으로 큰 기대를 모으고 있으나, 감지막의 박막화에 따른 감응도의 저하 문제가 상용화에 걸림돌이 되어왔다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 기존에 고분자 미세 구형체를 이용하여 공허 반구체 형태의 3차원구조 세라믹 박막을 제조하는 방법이 제시되어 있으나, 실리콘 반도체 공정에 적용이 가능할 만한 수준의 고신뢰성 공정이 개발되지 않았다는 문제점이 있었다. 본 발명에서는 간단한 플라즈마 표면처리와 스핀 코팅을 통해 실리콘 반도체 공정에 적용가능한 고신뢰성의 대면적 미세구형체 템플릿 제조공정을 확립하였다.
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KIST Patent > 2010
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