높은 변형율과 빠른 동작 속도를 가진 초소형 작동기와 그 제조 방법

Title
높은 변형율과 빠른 동작 속도를 가진 초소형 작동기와 그 제조 방법
Authors
김원목이수연정두석정병기정증현
Issue Date
2011-05-31
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
초소형 작동기로서, 일단이 고정된 기판과, 상기 기판 위에 증착된, 상변화시 상변화 속도, 변형율 및 응력이 큰 상변화 막과, 상기 상변화 물질 막 위에 증착된 보호 절연막과, 상기 상변화 막의 상변화를 유도하기 위한 열에너지 공급을 위한 전류 펄스 공급장치를 포함하고, 상기 상변화 막의 상변화에 따른 그 부피 및 잔류응력의 변화로 상기 기판의 타단을 움직이도록 하는 것을 특징으로 한다. 상변화 막은 칼코지나이드 상변화 물질로 형성된다.
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KIST Patent > 2011
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