미세전극 어레이 제조방법

Title
미세전극 어레이 제조방법
Authors
김신근성호근송호영신희섭최지현
Issue Date
2010-02-23
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 미세전극 어레이 제조방법에 관한 것으로, 더 상세하게는, 전기도금을 통해 양각 형태로 전극을 형성하여, 전극 표면의 거칠기를 크게 하면서, 전극의 두께를 증가시킬 수 있는 미세전극 어레이 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 미세전극 어레이 제조방법은, 미리 준비된 실리콘 기판 상에 희생층을 증착하는 단계; 상기 증착된 희생층 상에 제1 폴리머를 도포하여 패터닝한 후, 열 경화시키는 단계; 상기 제1 폴리머 상에 본딩 패드 영역과, 트랜스미션 라인과, 레코딩 패드 영역을 형성하도록 금속박막을 패터닝하는 단계; 상기 트랜스미션 라인을 폐쇄하고, 상기 본딩 패드 영역과 레코딩 패드 영역을 패터닝하도록 제2 폴리머를 도포하는 단계; 상기 제2 폴리머와 금속박막 상에 스퍼터 장비를 통해 시드층을 증착하는 단계; 상기 본딩 패드 영역과 레코딩 패드 영역에 대해 금속을 전기도금하여 전기도금층을 형성하는 단계; 상기 전기도금층의 상부가 개방되도록 포토레지스트를 패터닝하는 단계; 상기 포토레지스트와 전기도금층 상에 백금을 증착시키는 단계; 및 상기 포토레지스트를 제거하는 단계를 포함한다.
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KIST Patent > 2010
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