자성 박막 부재 및 그 제조 방법

Title
자성 박막 부재 및 그 제조 방법
Authors
김성만정원용천동원
Issue Date
2010-01-14
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
자성 박막 부재 및 그 제조 방법을 제공한다. 자성 박막 부재는 i) 기판, ii) 기판 위에 위치하고, TiN(질화티타늄)을 포함하는 중간층, 및 iii) 중간층 위에 위치하는 Co(코발트)/Pd(팔라듐) 다층 박막층을 포함한다.
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2010
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