귀금속의 플라즈마 이온주입 장치 및 방법과 이를 이용한 귀금속 나노복합체 형성 방법

Title
귀금속의 플라즈마 이온주입 장치 및 방법과 이를 이용한 귀금속 나노복합체 형성 방법
Authors
김원목변지영이경석한승희
Issue Date
2010-03-29
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명의 일 실시예에 따른 귀금속의 플라즈마 이온주입 장치가 제공된다. 귀금속의 플라즈마 이온주입 장치는, 내부를 진공 상태로 유지하는 진공조와, 박막증착을 위해 진공조 내부에 배치되고 귀금속 스퍼터링 타겟이 장착되는 마그네트론 증착원과, 진공조 내에서 마그네트론 증착원에 대향하도록 배치되어 시료가 장착되는 시료장착대와, 마그네트론 증착원에 펄스직류전력을 인가하여 마그네트론 증착원으로부터 스퍼터링되는 귀금속을 이온화시키는 펄스직류 전원장치와, 시료장착대에 펄스직류전력에 동기화된 고전압펄스를 인가하여 귀금속의 이온들을 시료 쪽으로 가속시키는 고전압펄스 전원장치를 포함한다.
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KIST Patent > 2010
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