발광 다이오드 및 그 제조방법

Title
발광 다이오드 및 그 제조방법
Authors
김선호김신근김재헌변영태우덕하이석전영민정미
Issue Date
2009-11-26
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명에 따르면 효율이 향상된 발광 다이오드의 제조 방법 및 그 방법에 의해 제조된 발광 다이오드가 제공된다. 본 발명에 따른 방법은, 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 위에 제1 도전형의 하부 반도체 층, 활성층 및 제2 도전형의 상부 반도체 층을 포함하는 복수의 층을 적층하는 단계; 상기 상부 반도체 층 위에 나노미터 크기의 구조를 형성하는 단계; 및 상기 나노미터 크기의 구조를 마스크로 이용하여 상기 적층된 복수의 층의 적어도 일부를 식각하는 단계를 포함한다.
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KIST Patent > 2009
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