탄소 나노 튜브 기반 전자 소자 및 이의 제조 방법

Title
탄소 나노 튜브 기반 전자 소자 및 이의 제조 방법
Authors
김웅김형석박민윤호규
Issue Date
2009-11-25
Publisher
한국과학기술연구원; 고려대학교 산학협력단
Abstract
고분자막을 이용한 탄소 나노튜브(CNT)의 합성 방법에 관해 기술된다. 기질은 고분자막에 보호되며, 그 위에 촉매층이 형성된다. 탄소 나노튜브 합성시 기질은 활성 분위기로부터 보호되며 특히 촉매와 기질 간의 반응을 제한한다. 고분자막으로부터는 기질과 탄소 나노튜브의 결합을 강화하는 탄화물 본딩층을 얻게 된다.
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KIST Patent > 2009
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