발열부 일체형 진공 박막 증착용 분자빔 증발원, 그 제작 방법 및 증발기

Title
발열부 일체형 진공 박막 증착용 분자빔 증발원, 그 제작 방법 및 증발기
Authors
김선호김신근김재헌변영태우덕하이석전영민
Issue Date
2009-11-24
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 발열부 일체형 고효율 증발원 및 그 제작방법에 관한 것이다. 진공속에서 도가니를 가열하여 도가니에서 증발되는 재료를 시료에 증착하는 방법을 사용하는 증발시스템에서, 도가니와 발열부로 구성된 증발원 및 그 증발원의 제작방법에 관한 것이다.본 발명에서는 증발장치용 PBN 도가니와, 상기 도가니의 외부표면에 증착되어 가열에 적합하게 패터닝된 발열부를 포함하는 증발원, 그 제작 방법 및 증발기가 제시된다.
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KIST Patent > 2009
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