적외선 가스 센서

Title
적외선 가스 센서
Authors
문성욱임영근
Issue Date
2009-11-27
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 적외선 광의 난반사 및 산란을 이용한 비분산 적외선 가스 센서에 관한 것이다. 본 발명에서는 광 검출 효율을 높일 수 있도록 비냉각형 볼로미터 센서를 구비하고, 광 경로 상에서 특정 가스에 흡수되는 광량을 최대화 할 수 있도록 광 공동 내부에 구성된 적어도 1개의 반사경 표면에 나노 및 마이크로미터 사이즈 이상 특정 형태의 어레이 패턴을 형성하고, 광원 램프로부터 방출 된 광이 반사경 표면의 패턴에 의해 난반사와 산란을 일으켜, 단위 체적 당 광 경로를 크게 증가시키도록 구성하여, 광 공동의 부피를 크게 줄이고, 가스에 흡수된 적외선 변화량에 대하여 높은 민감도와 신호 세기를 가지는 비분산 적외선 가스센서가 제시된다.
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KIST Patent > 2009
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