보호막 구조 형성 방법

Title
보호막 구조 형성 방법
Authors
김경곤김재경나대석박정수최준환
Issue Date
2009-12-04
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명에 따른 보호막 구조 형성 방법은, 기판의 전면에 접착층을 형성하는 단계, 상기 기판의 후면에 보호층을 형성하는 단계, 및 상기 접착층을 이용하여 상기 보호층이 형성된 상기 기판을 전자 소자에 부착하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 보호층은 유기보호층 및 무기보호층을 포함할 수 있다.
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Appears in Collections:
KIST Patent > 2009
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