소재 표면의 항균성 향상을 위한 은 원소 플라즈마 이온주입 장치 및 방법

Title
소재 표면의 항균성 향상을 위한 은 원소 플라즈마 이온주입 장치 및 방법
Authors
김유찬박원웅변지영석현광전준홍최진영한승희한준현
Issue Date
2009-10-28
Publisher
한국과학기술연구원
Abstract
본 발명은 은 원소 플라즈마 이온주입 방법 및 장치에 관한 것이다. 은 원소 플라즈마 이온주입 장치는 내부를 진공 상태로 유지하는 진공조와, 박막증착을 위한 마그네트론 증착원과, 진공조 내의 증착원에 대향하는 위치에 설치되어 시료가 장착되는 시료장착대와, 증착원에 펄스 직류 전력을 인가하여 증착원으로부터 스퍼터링되는 은 원소를 플라즈마화 시키는 제1 전원공급수단과, 시료장착대에 증착원용 펄스 직류 전력과 동기화시킨 고전압 펄스를 인가하여 은 원소의 플라즈마 이온들을 시료 쪽으로 가속하여 이온주입 시키는 제2 전원공급수단을 포함한다.
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KIST Patent > 2009
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