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dc.contributor.author강종윤-
dc.contributor.author김진상-
dc.contributor.author윤석진-
dc.contributor.author최지원-
dc.date.accessioned2015-12-04T08:25:53Z-
dc.date.available2015-12-04T08:25:53Z-
dc.date.issued20090629-
dc.identifier.other1020090058242-
dc.identifier.urihttp://kpat.kipris.or.kr/kpat/biblioa.do?method=biblioFrame&applno=1020090058242en_US
dc.identifier.urihttp://pubs.kist.re.kr/handle/201004/52688-
dc.description.abstract본 개시에서는, 절연 기판을 제공하는 단계-
dc.description.abstract상기 절연 기판 상에 온도 감응용 물질층을 형성하는 단계-
dc.description.abstract상기 온도 감응용 물질층을 패터닝하여 온도 감응막을 형성하는 단계-
dc.description.abstract상기 온도 감응막 상에 절연막을 형성하는 단계-
dc.description.abstract상기 전열막 상에 전도성 산화물 층을 형성하는 단계-
dc.description.abstract상기 전도성 산화물 막을 패터닝하여 복수개의 전극 패턴 어레이를 형성하는 단계-
dc.description.abstract상기 복수개의 전극 패턴 어레이 상에 복수개의 가스 감응막을 다층으로 형성하는 단계-
dc.description.abstract및 상기 복수개의 가스 감응막을 선택적으로 식각하여 상기 복수개의 전극 패턴 어레이의 각각 위에 가스 감응막 어레이 - 상기 가스 감응막 어레이는 적어도 하나의 가스 감응막을 포함함 - 를 형성하는 단계를 포함하는 센서 어레이 제조 방법을 제공한다.-
dc.languageKO-
dc.publisher한국과학기술연구원-
dc.title온도 및 다중 가스 감응 센서 어레이 및 이의 제조방법-
dc.typePatent-
Appears in Collections:
KIST Patent > 2009
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